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工件介绍
加工元件外表粗度可达纳米级,口径最大可到达350mm,加工工件外表粗度Ra<3nm,面形精度PV值<0.3μm。可加工种种高精度立体、球面、非球面及离轴元件和自在曲面元件。可加工铜、铝、单晶锗、硒化锌、树脂、PMMA等质料。在三轴联动形式下还可加工离轴元件、柱面、子午面等非反转展转对称元件和自在曲面,配以特别刀具可以完成微布局元件的加工,如种种衍射元件和菲涅尔透镜等。